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設備特點：
★全不銹鋼真空腔室，保證系統的耐久性及操作安全性；更合理的氣路設計及細節考慮
★更的小體積，系統采用模塊化設計可擴展性高在保證系統穩定性的前提下，進一步優化您的實驗室利用空間。
★系統采用機械泵+進口分子泵組成高真空系統，抽到工作高真空僅需15-20min，節省實驗時間。
設備參數：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：Φ260×H350(圓柱型）
★設備尺寸L×W×H：600×500×900mm；
★真空極限：優于（5E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）Pa≤30min保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優異（±3％~±5%），重復性優異（±3％~±5%）
★基片臺：≤80mm×80mm；
★蒸發源：可搭配1～2組蒸發源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發
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